MEMS微梁静电致动器的力学特性研究

摘要：

采用降阶建模法对多晶硅/氮化硅复合悬臂梁静电致动器的多物理场耦合问题进行了仿真计算.悬臂梁在氮化硅残余应力的作用下弯曲翘起.在微梁和基底间施加电压后,微梁受到向下电场力的作用,当电压超过阈值后微梁就会被吸到基底上.通过提取系统的各阶模态及其对系统的贡献,对各阶模态进行组合来取代该结构的耦合域,从而达到对耦合问题降阶的目的.采用该方法算得微梁的翘起高度、1阶固有频率和吸下的阈值电压与实验测得的结果吻合较好.

关键词：降阶建模、耦合域、模态

所属期刊栏目：27

分类号：TH7(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA312250

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：507-509,513