射频磁控溅射法制备BST薄膜及性能研究

摘要：

采用射频磁控溅射法制备了钛酸锶钡薄膜材料,研究了薄膜的晶体结构和微观形貌,测试了其偏压特性曲线和电滞回线.初步探讨了εr-E曲线、电滞回线发生平移的原因:上下电极与钛酸锶钡薄膜间的界面势垒不对称.

关键词：射频磁控溅射、钛酸锶钡、铁电薄膜、εr-E曲线、电滞回线

所属期刊栏目：27

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划Z01

在线出版日期：2005-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：297-299,302