10.3969/j.issn.1004-2474.2005.02.027
脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用
介绍了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术(光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等)相比具有其独到之处.阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术.
脉冲激光、微机电系统、激光烧蚀、激光-LIGA技术
27
TN2(光电子技术、激光技术)
国家高技术研究发展计划863计划2002AA4040907;教育部留学回国人员科研启动基金F204008
2005-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
185-189