10.3969/j.issn.1004-2474.2005.02.017
钛酸锶钡(BST)薄膜的XPS研究
采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,对BST/Pt/Ti/SiO2/Si结构进行了XPS深度分析.研究结果表明:制备的BST薄膜内部化学成分基本一致;氧缺位在薄膜体内比表面更严重;Pt底电极向薄膜、衬底之间扩散,BST/Pt及Pt/SiO2之间存在明显的界面过渡层.
钛酸锶钡、薄膜、X-射线光电子能谱(XPS)
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TN304.9(半导体技术)
国家重点基础研究发展计划973计划Z01
2005-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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149-151