大气湿度对AFM针尖氧化加工金属Ti膜的影响

摘要：

AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用.通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好湿度范围为30％～50％.

关键词：AFM针尖诱导阳极氧化、Ti氧化线、大气湿度

所属期刊栏目：26

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：教育部天津大学-南开大学合作项目;天津市自然科学基金013602111

在线出版日期：2004-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：234-236