RF平面螺旋微电感计算机模拟研究

摘要：

应用Greenhouse法对RF平面螺旋微电感进行了计算机模拟,探明了微电感品质因数Q值在高频域内的变化规律,得出了微电感金属层厚度、线宽、线间距及线圈数与RF平面螺旋微电感Q值的对应关系.研究发现,RF平面螺旋微电感的Q值在高频域内随频率增加而呈现先升高后下降的趋势,Q值存在峰值;微电感Q值在某一频率范围内随微电感金属层厚度、线宽的增加而增大;随线间距的增加,微电感的低频性能下降而高频(>1 GHz)性能升高;当微电感直径一定时,随线圈数的增加,Q值有下降的趋势.

关键词：RF微电感、Greenhouse法、计算机模拟

所属期刊栏目：26

分类号：TM55(电器)

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：164-166