纳米标准物及长时稳定性

摘要：

纳米级尺度实物标准是纳米尺寸传递体系中的关键环节,也是评价和校正压电驱动等微扫描微定位装置的重要工具.该文针对一维台阶实物标准的材料选择、加工和评价方法等方面进行研究,并对已试制的纳米标准台阶进行了长时稳定性的跟踪研究.实验结果表明,该标准物的台阶高度制造精度为±1.1 nm,长期稳定性优于±0.5 nm.

关键词：纳米标准物、评价方法、SPM、稳定性

所属期刊栏目：26

分类号：TH161

资助基金：天津市自然科学基金013602111;教育部天津大学-南开大学合作项目

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：161-163