AZO薄膜双靶PLD沉积及其光学性能分析

摘要：

介绍了利用锌靶和铝靶在氧气气氛中进行掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的脉冲激光沉积(PLD)新方法,并与利用ZnO陶瓷靶沉积AZO薄膜的方法进行了对比,分析了此方法的优势和特点.描述了利用该方法在玻璃和硅片上沉积AZO薄膜的实验过程.通过透射光谱分析了沉积的透明导电膜在可见光区的透射性能,用X-射线衍射谱(XRD)研究了薄膜的结构.

关键词：脉冲激光沉积、AZO薄膜、双靶

所属期刊栏目：26

分类号：TN248.1(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：119-121