电容式多晶硅微声传感器的模拟与设计

摘要：

设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器.通过有限元法(FEM)对传感器建模,并对其进行静力、模态和谐响应分析.模拟分析结果表明此传感器机械灵敏度可达1.81×10-7m/Pa,其频带宽度接近10 kHz.

关键词：多晶硅薄膜、微声传感器、有限元

所属期刊栏目：26

分类号：TN602(电子元件、组件)

在线出版日期：2004-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34