10.3969/j.issn.1004-2474.2004.01.009
压电微悬臂梁微弱压电信号检测
压电微悬臂梁是一种利用压电元件的逆压电效应驱动微悬臂梁使其振动,并利用压电元件的压电效应来检测梁的变形量的集成微驱动器和微传感器.文中讨论了压电微悬臂梁中的压电元件的两种等效电路模型,并且提出了检测微压电信号的检测系统以及两种前放电路.在检测微悬臂梁频率响应特性的实验中得到了较好的结果.
压电微悬臂梁、等效电路、差动电荷放大、差动电流放大
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TH82;TN7
2004-04-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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