Y型双声路声表面波质量传感器及其测量系统

摘要：

报道了一种在128°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制新型的延迟线型声表面波质量传感器及测量系统.由于环境温度对声表面波质量传感器性能影响较大,因此采用新型的Y型双声路结构克服环境温度对传感器性能的影响.阐述了Y型双声路质量传感器器件的结构及设计、测试电路的原理,对实验结果作了分析讨论.测试结果表明:器件相对温度系数仅为11 Hz/ °C左右,器件的质量沉积效应灵敏度为3.62 GHz*cm2/g,并且具有良好的线性度.

关键词：声表面波传感器、质量沉积效应、声表面波延迟线、多条耦合器

所属期刊栏目：25

分类号：TN722(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金60176027;浙江省自然科学基金600026

在线出版日期：2004-01-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：445-448