10.3969/j.issn.1004-2474.2003.06.002
微机械叉指换能器声表面波陀螺
回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史,总结了声表面波陀螺设计思想的变迁,重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS-IDT)声表面波陀螺.它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构,具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点.由于没有普通微机械陀螺的悬浮机构,抗冲击及振动的能力较普通微机械陀螺显著提高.同时,提出了一些迫待解决的问题.
微机械-叉指换能器(MEMS-IDT)、声表面波(SAW)、陀螺
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TN65(电子元件、组件)
2004-01-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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