三维压电加速度传感器的设计

摘要：

设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器,传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构.对传感器结构进行理论分析和计算,研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系.用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析.模拟结果表明传感器能够同时独立测出X、Y、Z三个方向的加速度,其灵敏度分别为2.76×10-3V@s2/m、2.76×10-3V@s2/m、2.96X10-3V@s2/m,并且横向灵敏度几乎为零.

关键词：三维加速度计、微传感器、压电薄膜、PZT、MEMS

所属期刊栏目：25

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033105;面向21世纪教育振兴行动计划985计划

在线出版日期：2003-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：379-381