压电谐振式微悬臂梁气体传感器

摘要：

介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理,及其在空气质量检测上的应用.实验结果验证了设计方法正确,制作工艺可行.在特定敏感层的作用下,该传感器对氟利昂气体在500×10-6范围内的响应呈指数衰减,在100×10-6范围内呈线性响应,灵敏度达-0.002 4%×106,最小可测质量为3.5×10-9g.

关键词：锆钛酸铅(PZT)、微悬臂梁、气敏传感器

所属期刊栏目：25

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金30170266

在线出版日期：2003-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：358-362