一种新型的锥尖制作方法研究

摘要：

主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列.探讨合理选择制作材料,优化锥尖形状,锐化锥尖尖度,以提高传感器灵敏度,增大阴极锥尖的发射电流.测试结果表明:优化的锥尖发射电流在电压为3 V时可达0.2 nA,灵敏度为0.1 μA/g.

关键词：真空微电子压力传感器、阴极锥尖、反应离子腐蚀和等离子腐蚀、发射电流

所属期刊栏目：25

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2003-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：344-346