改善(Pb,Ca)TiO3薄膜的铁电性能研究

摘要：

用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在LaNiO3/Si(111)基片制备出高度(100)取向生长的钙钛矿相(Pb0.76Ca0.24)TiO3(PCT)薄膜.用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌;测试了薄膜的铁电和介电特性.PCT薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为9.3 μC/cm2和64 kV/cm,在100 kHz薄膜的介电系数和损耗分别为231和0.045.比较了在不同电极制备PCT薄膜的结果,用LaNiO3作底电极,改善了铁电性,降低了矫顽场.

关键词：PCT铁电薄膜、LaNiO3电极、取向、介电特性、溶胶-凝胶

所属期刊栏目：25

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：王宽诚教育基金;长沙电力学院校科研和教改项目011040020306

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：229-232