10.3969/j.issn.1004-2474.2003.02.015
锆酸铅薄膜的生长特性与表面化学态
以醋酸铅和异丙醇锆为原料,乙二醇甲醚为溶剂.通过溶胶-凝胶法和快速退火工艺在Pt(111)/Ti/Si O2/Si(100)基片成功地制备出不开裂的钙钛矿PbZrO3薄膜.用XRD和原子力显微镜测量了薄膜随退火温度变化的结构和表面形貌特征,用XPS测试了650 ℃退火PbZrO3薄膜的表面化学态.
PbZrO3薄膜、溶胶-凝胶、表面形貌、化学态
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TN304(半导体技术)
暨南大学校科研和教改项目640061
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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