10.3969/j.issn.1004-2474.2003.02.007
紧凑型压电微位移组件
基于激光多功能仪自动测试的需要,研制了与之配套的紧凑型的微位移组件.微位移组件由压电试件模块和激励驱动模块组成.前一模块的设计采用试件抽插式方案,具有高效率和可靠性;后一模块注重外形的紧凑和功能的完备.组件设计思路新颖,实际使用效果良好.
微位移组件、压电试件模块、激励驱动模块、紧凑
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TP211+.4(自动化技术及设备)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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