在层状铁电薄膜二极管中的界面电位降

摘要：

利用准分子激光原位淀积法制备了BIT/PZT/BIT,PZT/BIT和BIT层状铁电薄膜,建立了一条修正的经验幂定律I＝A(ξV)α和一个层状铁电薄膜电流密度-电压(I-V)曲线的近似公式,它包括了的非线性系数α和界面电位降特征参数ξ.由修正的经验幂定律和I-V曲线近似公式算出的界面电位降Vi与由C-V曲线理论得出的结果一致.界面电位降与测量电容、薄膜电容及耗尽层电容有关.

关键词：层状铁电薄膜、界面电位降、耗尽层

所属期刊栏目：24

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金59972010;国家重点实验室基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：374-377