新型二维压电驱动微动工作台的设计分析

摘要：

研究开发了一种新型压电驱动二自由度纳米级微定位工作台.文章采用静力学理论对微动工作台的运动副进行了建模分析,推导出直角平行板柔性铰链的刚度计算表达式.采用有限元分析方法,对柔性铰链和微动工作台的静、动态力学特性数值分析,并对微动工作台的模态频率进行了实验测试.理论分析、有限元计算和实验结果的一致性说明理论分析的正确性和数值分析的可靠性.

关键词：压电驱动、纳米级微定位、柔性铰链、有限元分析

所属期刊栏目：24

分类号：TP24(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金29833070;国家自然科学基金50175019

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34