10.3969/j.issn.1004-2474.2002.01.002
基片开槽抑制SAW滤波器体声波的工艺研究
当叉指换能器在基片上激励声表面波模式时,同时伴随着体声波的激励.文章根据叉指换能器的激励原理,采取对压电基片背面开槽抑制叉指换能器体声波进行了实验研究.分别在ST、LT、LN压电基片上背面开槽并制作了中心频率为28 MHz、70 MHz、71 MHz、120 MHz声表面波滤波器.实验观察了体声波的抑制情况,并得出了具体实验数据.
体波抑制、叉指换能器、声表面波
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TN305(半导体技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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