PZT厚膜UCPBG结构的射频天线研究

摘要：

采用了丝网印刷工艺在硅片上制备了锆钛酸铅(PZT)薄膜,进行了相应的工艺分析.设计并仿真了平面光子带隙(UCPBG)结构,测试了结构的电磁参数,证实了结构的可行性.在此基础上提出了一种基于PZT厚膜工艺和平面光子带隙结构的微型射频(RF)天线结构与工艺设计.

关键词：字:丝网印刷、锆钛酸铅、平面光子带隙、射频天线

所属期刊栏目：23

分类号：TN713(基本电子电路)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划1999033105

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：397-401