平板式无阀压电流体泵的初步研究

摘要：

介绍了一种新型平板式无阀压电泵,给出了此种无阀压电泵的基本结构.通过对所制样机的测试分析,认为决定这种无阀压电泵性能的因素主要有锥形角度、工作频率和驱动电压等.锥形角在5°～12°之间,工作在19 Hz下,所制作的压电泵具有较佳的工作性能,当锥形角为11.3°,工作频率为19 Hz,驱动电压为120 V时,泵的进、出水口处的压力差为235.2 Pa.

关键词：无阀泵、无阀压电泵、微机械、收缩管、扩张管

所属期刊栏目：23

分类号：THl37.33

资助基金：国家自然科学基金59975040;教育部留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：256-258