溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铋铁电薄膜

摘要：

利用溶胶-凝胶法在Si(100)及Pt/Ti/Si(100)衬底上制备了Bi3.5La0.5Ti3O12(BLT-5)铁电薄膜，研究了在不同退火条件下BLT-5薄膜的结晶性能。经650℃、30 min退火处理的BLT-5铁电薄膜的矫顽场Ec=67 k V/cm，剩余极化强度Pr=11.2μC/cm2。BLT-5铁电薄膜呈现较好的抗疲劳特性，可望用于制备高容量铁电随机存取存储器。

关键词：钛酸铋、铁电薄膜、溶胶-凝胶法

所属期刊栏目：23

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-0020-0070;教育部高校骨干教师资助计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：138-141