高密度硬磁盘用压电复合磁头悬浮臂

摘要：

针对硬磁盘驱动器中磁头定位两级伺服控制系统,利用宽度弯曲振动模式,设计并制备了分割电极型压电复合磁头悬浮臂.研究了复合磁头悬浮臂的动态位移特性、动态频响特性,以及它对读出信号脉冲幅值的影响.结果表明:20 V正弦电压激励下可获得的动态位移幅值约为1 μm;其固有谐振频率达6.3 kHz,满足高密度硬磁盘对两级伺服控制系统的基本要求.

关键词：硬磁盘、分割电极、压电陶瓷、致动器、磁头悬浮臂

所属期刊栏目：22

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：广东省博士启动基金96069809

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：373-375