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10.3969/j.issn.1004-2474.2000.06.005

压电-电流变平面二维步进式驱动器

引用
首次提出了一种利用压电效应和电流变效应相结合的新型平面步进式驱动器.研制的驱动器包括4个提供驱动力和产生位移的多层压电致动器,以及4个用来箝位的电流变箝位器.根据仿生运动模式,箝位器与压电致动器采用不同的运动组合,可分别实现沿x向或y向的蠕动式步进运动.实验结果显示,平面步进驱动器样机在x向和y向都能灵活运动,并具有大行程和低于0.1 μm的高的分辨率特性.驱动器的最高步进速度为6 mm/min,最大承载能力为1.70 N.

压电、电流变液体、平面步进驱动器

22

TM282(电工材料)

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

367-369

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1004-2474

50-1091/TN

22

2000,22(6)

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