压电陶瓷式执行器的动态特性的改善研究

摘要：

针对压电陶瓷微位移执行器动态响应速度慢的问题进行了研究,提出用数字PID方法加以解决,并研制出一套实用控制系统.其中,研制出一种可微机控制的精密高压调节器,与单片机数字系统相配合,形成一个完整的、数字-模拟电路结合的控制系统,用以实现压电陶瓷微位移器动态性能的改善.实验表明,该控制系统简单、可靠、实用,所提出的PID方法对压电陶瓷微位移执行器的动态特性有明显的改善.

关键词：压电陶瓷微位移器、微动平台、高压调节器、动态特 性、PID算法

所属期刊栏目：22

分类号：TH122

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：246-248