压电器件在微位移系统中的应用

摘要：

提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法,可在10 μm内实现0.01 μm的微动分辨力.该方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中,达到了满意的效果.

关键词：压电、微位移、测量、控制

所属期刊栏目：22

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：244-245,252