铁电-硅集成微麦克风和扬声器的理论设计

摘要：

在现有 Pb(Zr,Ti )O3(PZT)铁电薄膜的制备工艺基础上,提出并设计了可集成在同一芯片上的基于 PZT铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构,对其灵敏度和声输出进行了理论计算.比较了基于PZT和ZnO两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异.

关键词：集成微麦克风和微扬声器、Pb(Zr、Ti)O3(PZT)、铁电薄膜

所属期刊栏目：22

分类号：TP212.1;TM22.1(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院资助项目69806007

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：234-236