10.3969/j.issn.1004-2474.1999.06.021
压电晶体微位移器位移精度及测试的理论分析
对压电晶体微位移器的位移精度进行了论述,分析了PZT位移的倾斜性,编制了软件;对其位移的倾斜性进行了理论计算,并给出计算结果.对拟建立的测试方法进行了理论分析.
压电晶体、非线性、倾斜性
21
TN384(半导体技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
507-509
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10.3969/j.issn.1004-2474.1999.06.021
压电晶体、非线性、倾斜性
21
TN384(半导体技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
507-509
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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