10.3969/j.issn.1004-2474.1999.06.018
压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究
对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究,并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线.经测试,通过闭环控制的定位重复性精度在-15 nm~+15 nm以内,采取这些关键技术措施是可行的.
超精密定位、微位移、压电陶瓷驱动器、柔性铰链、电容传感器
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TH703.4(仪器、仪表)
国家自然科学基金59835180
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
493-497