一种小型微位移超稳定直线压电驱动器

摘要：

研制出一种新型直线蠕动式压电驱动器,它具有小体积、低摩擦、低噪声、稳定性好、分辨率高等特点.该装置体积仅为40mm×35mm×25mm,可用于机器人、微细加工、仪器仪表、精密机械等领域.

关键词：压电驱动器、微驱动器、直线运动、换能器

所属期刊栏目：21

分类号：TG661

资助基金：中国科学院资助项目59777020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：439-441