扫描隧道显微镜中的扫描驱动器

摘要：

概述了扫描隧道显微镜的工作原理,给出了采用压电材料的扫描控制方案及获取样品表面形貌信号的方法,介绍了系统中的z扫描驱动器,xy扫描驱动器(扫描平台)及其非线性修正方法.

关键词：扫描隧道显微镜、压电材料、电致伸缩材料、驱动器

所属期刊栏目：21

分类号：TN16;TN384(真空电子技术)

资助基金：国家科技攻关项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：431-432