面向5G的MEMS跷跷板结构功率传感器

摘要：

为了解决5G功率传感器灵敏度不高的问题,创新性地提出一种可面向5G应用的MEMS跷跷板结构功率传感器.S参数测试结果表明,在1 GHz—10 GHz的频段内传感器的回波损耗小于-12.5 dB,插入损耗小于1.5 dB.功率响应测试表明,内部电容的灵敏度接近69.2aF/mW@1GHz、71.5aF/mW@5GHz和66.3aF/mW@10GHz,外部电容的灵敏度约为35.2aF/mW@1GHz、33.0aF/mW@5GHz和27.6aF/mW@10GHz,表明该跷跷板结构设计提高了传感器的灵敏度.

关键词：5G、微机械MEMS、功率传感器、跷跷板

所属期刊栏目：44

分类号：TN929.5

在线出版日期：2020-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：81-84