干涉仪的动态范围研究

摘要：

干涉检测时,不同的干涉条纹分布,干涉仪的动态范围是不同的.基于像差理论建立了平面存在倾斜和球面存在离焦时干涉检测的波像差函数,依据干涉采样时能够分辨干涉条纹的特点,建立了两种条纹分布干涉检测动态范围的数学模型.对于像元阵列为640×480探测器,圆形干涉图最大占用探测器像元的阵列为480×480,在平面检测仅存在倾斜时能够分辨的直条纹数为240条,球面检测仅存在离焦时能够分辨的干涉圆环数大约为60个.实验结果表明:基于波像差理论建立的干涉检测动态范围的数学模型是正确的,干涉仪的性能指标得到了进一步的完善.

关键词：光学检测、干涉仪、动态范围、波像差

分类号：O439(光学)

资助基金：国家级大学生创新创业训练计划项目202013993003Y

在线出版日期：2021-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-65