神港智能仪表在控制半导体扩散工艺中的应用

摘要：

在介绍神港几款新型智能仪表和扩散设备的简要工作原理的基础上,较详细地讨论了PCA1程序控制器在控制半导体主扩散工艺中的应用和WCL-13A调节仪在太阳能电池制造中的应用.介绍的内容对该领域的工程技术人员有较高的参考价值.

关键词：程序控制器、调节仪、扩散炉、串级控制

分类号：TH811

在线出版日期：2019-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：43-45