基于ZMD31150的扩散硅传感器一体化设计及其应用

摘要：

为了解决扩散硅传感器补偿和信号调理等方面存在的问题,提出了一种基于ZMD31150的扩散硅传感器一体化应用.通过专用的传感器结构、信号调理电路及信号校准系统,解决了扩散硅传感器的补偿和信号调理中存在的问题,实现了对扩散硅传感器的数字补偿和非线性修正.实验结果表明:该传感器简化了测量电路设计,实现了传感器信号输出佚级,极大地提高扩散硅传感器的应用.

关键词：温度补偿、非线性修正、扩散硅传感器

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46