一种激光式微位移传感器的研究与分析
在光电检测领域,激光三角法是一项优越且广泛应用的技术,它具有高精度、快速、非接触的优点.文中将该技术应用于微位移的测量,提出了一种激光式微位移传感器,建立该传感器的数学模型,然后考虑高精度、小尺寸的要求,分析了该传感器的光路系统参数.文章的研究分析为该传感器的具体实现提供了有效的参考依据.
激光三角法、放大、恒聚焦、光电探测器
TP212(自动化技术及设备)
2013-11-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
51-54
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激光三角法、放大、恒聚焦、光电探测器
TP212(自动化技术及设备)
2013-11-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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