用于六自由度纳米微动台的位移传感器研制

摘要：

为测量六自由度纳米微动台的运动,研制了基于光纤微弯原理的位移传感器.设计了新颖的光纤微弯调制结构,利用补偿光纤消除了光源波动对测量精度的影响.实验证明位移传感器的测量精度为±0.048μm,位移分辨率为10 nm,显著优于同原理的其他位移传感器.

关键词：纳米测量、光纤、光源误差补偿、微型化

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2011-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：68-70