10.3969/j.issn.1006-2394.2011.03.023
一种用于气体检测MEMS电容式红外发光强度探测器
文章提出了一种用于气体检测的MEMS电容式红外发光强度探测器.结合理论推导和仿真分析确定了该探测器的尺寸大小,并对其制作工艺流程做了叙述.它基于气体的红外吸收热效应,借助弹性薄膜的形变将热量变化转变为电容量变化,再经基于运算放大器的电容微传感器检测电路以电压信号输出.将它与环境气室采用MEMS技术一体化,能够得到体积小、精度高和可批量生产的气体检测装置.
气动腔、平板电容、红外探测器、微电子机械系统
TP212(自动化技术及设备)
2011-07-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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