单管压电扫描器建模方法的研究及标定精度分析

摘要：

文章对扫描探针显微镜中的单管压电执行器在x-y平面扫描的电压-位移特性进行了物理和数据分析,提出了一种新的基于采集数据的建模方法.仿真及实验证明,建立的模型能有效的消除扫描速度、扫描角度、非正交和耦合误差,提高了精度.避免了建模时对压电陶瓷内部机理(极化等)的分析,使模型参数的个数降低到很少,并对其标定精度进行了分析.该方法是一种在工程实践中非常实用的建模方法.

关键词：建模、仿真、压电陶瓷管、扫描探针显微镜、精度

分类号：TM930

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：51-53