半导体企业碳审计方法

摘要：

本文主要介绍了半导体企业开展碳审计的六大步骤,介绍了半导体企业FC(HFC,PFC)气体碳审计的方法,并以某半导体企业为研究对象,分析其FC气体的排放比例,指出C2F3,CF4,SF6是FC气体减排的重点.

关键词：碳审计、半导体企业、FC气体

分类号：X32;F12

在线出版日期：2010-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：305-306