低温退火温度对硅晶圆内V-O2对介观演变影响的仿真

摘要：

为了揭示低温退火温度对硅晶圆内V-O2对介观演变的影响,基于所建相场模型及其应用程序,对2个不同温度下退火的硅晶圆中V-O2对演变过程进行了仿真.结果表明:当低温退火温度降低时,V-O2对变化速率减慢、数量减少,这与相应的空位相对浓度演变及其均匀化过程有关.

关键词：仿真、硅晶圆、V-O2对、温度、低温退火

所属期刊栏目：36

分类号：TG111(金属学与热处理)

资助基金：山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题KF1303

在线出版日期：2021-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6