磁控溅射法制备铝掺杂氧化锌薄膜研究进展

摘要：

铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜是一种n型半导体光学透明薄膜,具有优异的光电转换特性.综述了磁控溅射法制备AZO薄膜的研究现状.介绍了衬底温度、溅射功率、氧分压、溅射角度、衬底类型和退火温度等工艺参数对AZO薄膜的微结构、表面形貌和光电性能的影响.展望了其今后的研究方向和应用前景.

关键词：AZO薄膜、磁控溅射法、光电性能

所属期刊栏目：30

分类号：TN304.05(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目U1404115;河南省高等学校重点科研项目计划16A430024

在线出版日期：2017-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：667-671