气体总流量对多弧离子镀TiN涂层表面形貌和力学性能的影响

摘要：

采用多弧离子镀膜技术在硬质合金基体表面沉积TiN涂层,研究了气体总流量对TiN涂层表面形貌和力学性能的影响.通过SEM观察涂层表面形貌,利用ImageJ图像处理软件对涂层的像素分布进行统计和分析,并通过自动划痕仪和纳米压痕仪对涂层的力学性能进行表征.结果表明,随着气体总流量的增加,涂层表面大颗粒的数量和尺寸均在增加,涂层附着力先增大后减小,而显微硬度先减小后增大;当气体总流量为300 mL/min时,涂层气坑数量最多,附着力最大,为106.4 N;当气体总流量为100 mL/min时,涂层显微硬度最大,为HV3 021.

关键词：TiN涂层、多弧离子镀、气体总流量、表面形貌、力学性能

所属期刊栏目：44

分类号：TG711(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：四川省科技厅项目15010112;四川省教育厅项目15ZA0232;四川理工学院培育项目2014PY10

在线出版日期：2016-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：43-47