溅射气压对WO3薄膜电致变色器件性能的影响

摘要：

采用磁控溅射法,以溅射气压为变量,在ITO导电玻璃上制备了WO3薄膜及TiO2薄膜,将Li+聚合物电解质涂覆于这两种薄膜之间封装成固态电致变色器件.采用XRD、AFM对WO3薄膜进行结构表征和形貌观察;采用直流稳压电源对器件进行电致变色测试,并以分光光度计测定其着色/褪色态可见光透过率.结果表明:1.5 Pa溅射气压下原位沉积WO3薄膜含较多的金属W;2.0～3.0 Pa溅射气压下得到了非晶态WO3薄膜;2.0 Pa溅射气压下得到的WO3薄膜表面分布有狭长的颗粒团簇,表面积较大,便于着色或褪色时Li+与电子的注入或脱出,故其所封装器件的调制幅度最大,响应最快;随溅射气压的增大,WO3薄膜表面缺陷增多,器件变色性能恶化.

关键词：WO3薄膜、电致变色器件、直流磁控溅射、溅射气压、表面形貌、透过率

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分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：安徽省高校自然科学基金KJ2009A091,KJ2012A228;中央高校基本科研业务费专项资金103-4115100010

在线出版日期：2015-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：30-33,38