A1含量对(Ti,Al)N膜结构性能影响的研究进展

摘要：

综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向.

关键词：(Ti、Al)N膜、晶体结构、性能影响、研究进展

所属期刊栏目：35

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：兰州交通大学青蓝人才资助项目兰院人发[2002]145

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-52