单层声表面波叉指换能器(SAW-IDT)结构优化设计

摘要：

为优化单层声表面波换能器的驱动性能,改善现有δ函数分析方法在计算过程中的不足之处,采用有限元仿真优化方法对叉指式换能器的静力学性能进行了分析,研究了支路电极宽度w、电极间距s和基片厚度t对驱动性能的影响.仿真结果表明,当w/t=0.7时,可以得到最佳应变响应;当s/t＞3.2时,可以得到最大应变.同时还得出了电极间距越小,驱动电压越低的结论.根据仿真优化结果制备了声表面波叉指换能器(SAW-IDT),并进行了频率响应测试.研究结果为声表面波叉指换能器的制备、性能测试和应用提供了指导.

关键词：叉指换能器;结构优化设计;驱动性能

所属期刊栏目：50

分类号：TH122.1;U416.217;TU318

资助基金：National Natural Science Foundation of China ;Postgraduate Research & Practice Innovation Program of Jiangsu Province

在线出版日期：2021-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：3917-3923