多层分步镀方法制备用于氢气分离的Pd-Ag膜

摘要：

用基于化学镀方法的钯银共沉积和分步沉积2种方法制备了PdAg膜.对比研究了2种方法制备的钯银膜的形貌、相结构、成分均匀性和致密性.实验结果表明共沉积法获得的钯银膜是树枝状的,成分不均匀,且致密性很差.分步沉积获得的钯银膜成分均匀、沿侧面生长趋势好,更适合制备超薄致密的用于氢气分离的钯银合金膜.多层分步镀形成Pd-Ag合金需要更高的温度和更长时间的热处理.Ag层的交替使得Pd的晶粒减小,并且最终沉积的膜表面更光滑.

关键词：PdAg膜、化学镀、共沉积、分步沉积

所属期刊栏目：46

分类号：TB3;TQ0

资助基金：The National Key Research and Development Plan 2016YFB0600103

在线出版日期：2018-01-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3688-3692