多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系双层膜的结构与力学性能

摘要：

采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8％Co硬质合金基体上制备了(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N和CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N 2种四元双层氮化物膜.利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析2种双层膜的微观组织、成分和结构;利用划痕仪和显微硬度计对比2种双层膜的力学性能.结果表明,获得的2种双层膜均具有B1-NaCl型的TiN面心立方结构;双层膜的组织均是典型的柱状晶结构;沉积偏压为-50～-200 V时,双层膜的力学性能均优于(Ti,Al,Zr,Cr)N单层膜,并与Ti-Al-Zr-Cr-N系梯度膜的力学性能相当,同时(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N双层膜可获得更高的硬度(HV0.01最高值为41 GPa),而CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N双层膜可获得更强的膜层与基体间结合力(所有值均大于200 N).

关键词：多弧离子镀、(Ti、Al、Zr)N/(Ti、Zr、Cr)N、CrN/(Ti、显微硬度、结合力

所属期刊栏目：45

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：沈阳市科技计划;辽宁省自然科学基金

在线出版日期：2016-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1320-1324